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工程案例

Engineering case

中國電子科技集團第55研究所

發(fā)布日期 2024-11-21 瀏覽次數(shù) 1293

    2012年8月,克萊澳公司向中國電子科技集團第55研究所使用的,用于芯片制造的分子束外延(MBE)設備提供液氮注入服務。分子束外延設備對真空度以及真空管道保溫效果要求很高,由于要獲得超高真空同時避免蒸發(fā)器中的雜質污染需要大量的液氮,因此MBE對液氮加注設備,尤其是液氮加注設備的管道質量提出了極高的要求。克萊澳公司立足于自研設備,同時吸收外國設備的先進技術,為55所的MBE設備量身定做了一套液氮加注方案,公司工程師與55所教授們經過充分的溝通、交流,完成了液氮加注設備的安裝、調試工作。經實際運行證實:克萊澳公司提供的方案完全契合了55所對芯片生產工藝的要求。克萊澳公司也因此成為了國內較早掌握芯片級液氮加注設備的公司。